1、近几年来，由于半导体芯片在电脑，通信等领域的广泛应用，半导体制造业也在全球得到了飞速发展。在半导体制造业中，由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性，工厂的布局变得不可以轻易更改，初始的不良布局结果会导致庞大的物料搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。
因此，净化车间的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题，在建厂初期他们就不得不对工厂进行谨慎详细的规划。这样，工厂投产以后整体生产系统才能发挥最大的生产效能。
2、设施规划的内容和定义
各种文献对设施规划定义的表述不尽相同，但在制造业中都是把设施规划定义为对一个生产系统进行全面的、系统的规划和安排，这种规划和安排是有目的的，这就是要确定经济合理的投入，使设施得到优化的配置，以支持整个系统实现有效的运行，获得期望的产出。
从净化工程的角度考察，设施规划的范围被界定为厂址选择和设施设计两个组成部分。
在制造业中，设施设计又包含了净化车间设备布局设计和物料搬运系统设计两个互相关联的内容。设备布局设计是对机器、设备、运输通道、场地，按照物流、人流、信息流的合理需要，做出有机组合和合理安排，物料搬运系统设计则是对物料搬运的路线、运量、搬运方法和设备、储存场地等做出合理安排。半导体制造车间的设施规划包括设备布局设计和物料搬运系统设计两个方面，通过这两方面的设计和优化，最终能提高半导体厂的生产效率。
